Ceramics
Leading
Provider
알루미나(Al2O3)
· 99.7% 이상의 고순도 제품, 형상에 관계 없이 소재부터 가공제품까지 공급
· 반도체 및 LCD /OLED 부품 중 내열성, 절연성, 기계적강도가 요구되는 제품
질화알루미늄(AIN)
· 고 치밀도로 내열 및 내식성이 우수, 낮은 열팽창 계수(4.2 ppm/°C)
· 반도체 Tube ,OLED용 Crucible, Susceptor, CVD Nozzle, etc
탄화규소(SiC/Si-SiC)
· 탄화물 계열로 내마도성, 내 화학성, 내식성, 열전도도가 뛰어남
· LED TRAY, RING, CATHODE 등 반도체 공정에 사용됨.
사파이어(SAPPHIRE)
· 알루미나(AL203)가 2050°C이상에서성장된결정체로 우수한기계적성질 (경도 Mohs 9)과 뛰어난 광학 특성 가지며,화학적으로 내구성 우수
· 반도체 및 Process Chamber 및 고 진공 Application(T사,S사)
지르코니아(ZrO2)
· 99.7% 이상의 고순도 제품, 형상에 관계 없이 소재부터 가공제품까지 공급
· APPLICATION : 반도체 및 LCD /OLED 부품 중 내열성, 절연성, 기계적강도가 요구되는 제품
BN / PBN
· 고 치밀도로 내열 및 내식성이 우수, 낮은 열팽창 계수(4.2 ppm/°C)
· APPLICATION : 반도체 Tube ,OLED용 Crucible, Susceptor, CVD Nozzle, etc
도전성 세라믹(TiO2)
· 알루미나와 비슷한 특성을 유지하면서 정전기 발생 원인 제거
· APPLICATION : 고 치밀도로 SCRATCH 방지 및 저 반사율을 가진 소재
특수금속(Ta 외)
· 고온 및 화학안정성이 우수하며, 타 물질과 반응하지 않고, 염산/ 질산/ 왕수 등에 우수한 내 산성 갖고 있음.
· APPLICATION : OLED 증착 장비용 Cell 부품 (Heater, Reflector 등) 사용.
DEVELOPMENT TECHNOLOGY
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